Definicija: EUV, e‑snop, skenirajuća sonda i nanoimprint litografija omogućuju visoku rezoluciju.

• Polje: nanotehnologija
• ID: T2060

EUV nanolitografija ispisuje guste šare.

EUV nanolithography prints dense patterns.

Izvori

• https://en.wikipedia.org/wiki/Nanolithography
• https://www.britannica.com/technology/lithography