Definicija: Energija i broj povratnih iona daju dubinski profil elemenata i slojeva. Osjetljiva je na teže elemente i nanometarske debljine.

• Polje: analitička tehnika / materijali
• ID: R0028

RBS je izmjerio debljinu filma.

RBS measured the film thickness.

Izvori

• https://en.wikipedia.org/wiki/Rutherford_backscattering_spectrometry